Выпуск N3 26 апреля 2013 года
Новая технология микроскопии облегчит разработку и обеспечит контроль производства трехмерных полупроводниковых чипов

Ученые из Национального института стандартов и технологий (National Institute of Standards and Technology, NIST) модернизировали разработанную ими несколько лет назад технологию оптической микроскопии и приспособили ее для обеспечения обзора наноразмерных объектов, что позволяет произвести контроль производства элементов трехмерных полупроводниковых чипов нового поколения.

Статья в журнале